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CMM坐标测量机系列
CMM系列大面积高精度坐标测量机，通过手动或根据设计的测量程序自动对工件进行坐标及长度测量，测量精度可以达到0.1μm，测量面积可达到1500*1850

应用领域:
1．FPD（LCD、OLED、PDP等）、IC封装、高精度PCB （HDI，BGA、CSP等） 、 Photomask、模具及其他电子行业基板的精密测量。
2．长度及套合尺寸的精密测量，线、缝宽度、圆直径、圆度、圆环宽等小尺寸的精密测量，以及平整度的测量。
3．.其余大面积工件高精度长度及二维坐标测量场合。